高精度气体配比器,主要用于气体流量测试,并按比例混合气体,为真空管式炉或手套箱营造特定要求的气氛环境,控制方式采用数字控制 精度高 抗干扰能力强 根据客户要求随意修改气体。
该气体配比器可以外接两种或多种气体,采用CS200或CS100质量流量计,气路管道采用316抛光管制作耐腐蚀性强,阀门采用高压球阀做截止阀,气路接头采用全不锈钢双卡套快速接头,方便连接且不易泄漏。
1.半导体制造行业中气体流量控制
2.各种真空镀膜设备;
3.特种材料表面处理
4.气体燃烧控制
5.混合配气系统
6.泄漏探测系统
7.环境检测与分析设备
8.分析仪器的气体流量计量与控制
9.化工、石化、冶金、光纤熔炼等需要气体检测和控制的场所。
技术参数:
气体通道
2进1出(KT-C2ZS)
3进1出(KT-C3ZS)
4进1出(KT-C4ZS)
可根据需求定制
产品类型
高精度型/快速响应型/智能控制/触摸屏控制
可选量程
20sccm-30slm(气体量程根据客户需要可选)
产品精度
高精度型±1%F.S 普通型±1%F.S
重复精度
高精度型±0.2% F.S 普通型±0.2% F.S
线性
高精度型±0.5% F.S. 普通型±1% F.S.
响应时间
高精度型≤1sec 普通型≤2sec
工作温度范围
(5~45)°C
供电电源
~85-265VAC 50/60Hz
功耗
40W
进气口压
≤0.6MPa
连接管道
316不锈钢管道
截止阀类型
电磁阀
单向阀开启压力
0.02Mpa
压力显示量程
0-0.6Mpa
控制方式
7寸触摸屏智能调节
时间设定
0-32000分钟
清洗功能
一键清洗
程序控制
5段可编程序(时间-流量随意设定值)
压力显示
不锈铡机械压力表
气体混合罐
有(内置不锈钢扰流板气体混合均匀)
流量累计
有(累计当前运行总流量)
可选进出气口接头形式
3mm,6mm,1/8mm,1/4mm双卡套接头
抗电磁干扰
有
外形尺寸
约500x380x380mm
重量
18KG~20KG