中型真空高低温探针台：可实现高真空环境下的高温及低温电学性能测量，真空腔一体成型，具有设计合理，真空度稳定，温控精度及机械精度高等特点；根据测试温度范围不同，可单选高温或低温等相应组件，温度可达到400℃，低温部分采用液氮或液氦冷却组件，温度可低至-196℃，；真空系统可选机械泵或分子泵系统，真空度可达到10-3Torr或10-6Tor。

中型真空高低温探针台的应用：

可应用于低温或高温真空环境下被测样品的电学性能测试分析，如：半导体/微电子，电子，机电，物理，化学，材料，光电，纳米，微机电/MEMS，生物芯片，航空航天等科学研究领域，以及IC设计/制造/测试/封装、LED、LCD/OLED、LD/PD、PCB、FPC等生产制造领域。

中型真空高低温探针台的参数

真空腔体

腔体材质

304不锈钢

上盖开启

铰链侧开

加热台材质

304不锈钢

内腔体尺寸

φ160x90mm

观察窗尺寸

Φ70mm

加热台尺寸

φ60mm

观察窗热台间距

75mm

加热台温度

﹣196~350℃

加热台温控误差

±1℃

真空度

机械泵≤10Pa 分子泵≤10-3Pa

允许正压

≤0.1MPa

真空抽气口

KF25真空法兰

气体进气口

3mm-6mm卡套接头

电信号接头

SMA转BNC X 4

电学性能

绝缘电阻 ≥4000MΩ 介质耐压 ≤500V

探针数量

4探针

探针材质

钨针

探针尖

10μm

探针移动平台

X轴移动行程

30mm ±15mm

X轴控制精度

≤0.01mm

Y轴移动行程

13mm ±12.5mm

Y轴控制精度

≤0.01mm

Z轴移动行程

13mm ±12.5mm

Z轴控制精度

≤0.01mm

电子显微镜

显微镜类别

物镜

物镜倍数

0.7-4.5倍

工作间距

90mm

相机

sony 高清

像素

1920※1080像素

图像接口

VGA

LED可调光源

有

显示屏

8寸

放大倍数

19-135倍,视场范围15×13-2.25×1.7mm，小可分辨0.08mm