高新技术企业专项审计，是依据高新技术企业认定办法相关规定，对近三年的研发费用支出情况及高新技术产品（服务）收入情况进行审计，出具审计专项报告。该报告主要用于企业申办高新技术企业或高新技术企业复审使用。提供给科委、财政、税务、工商单位及管理层和董事会等相关。

高新技术企业专项审计工作从业务承接到完成通常要经过以下步骤：

1、会计师事务所和高新技术企业专项审计单位进行初步沟通了解，确定高新技术企业专项审计目的、审计范围、审计收费等；并签订业务约定书；

2、会计师事务所安排项目组，下发委托方高新技术企业专项审计准备的资料清单；

3、被审高新技术企业专项审计单位按照资料清单准备相关审计资料，并确定现场审计时间。

4、现场审计阶段；

5、审计情况汇总和形成审计报告初稿；

6、与被审高新技术企业专项审计单位交换意见；

7 、出具正式审计报告。

申报明细表又区别于年度财务报表。企业近三个会计年度研究开发费用结构明细表和近一年高新技术产品(服务)收入明细表是按照《高新技术企业认定管理办法》和《高新技术企业认定管理工作指引》编制的，其列报的数据可以直接反映出企业是否满足认定条件。

无论是研究开发费用，还是高新技术产品(服务)，在专项审计中都涉及高新技术的识别。注册会计师不是高新技术领域的专家，《专项审计指引》为此做了如下规定：

(1)恰当界定研究开发项目、高新技术产品(服务)的具体范围是申报企业的责任。

(2)申报企业技术负责人与企业法定代表人、财务负责人共同签署《管理当局声明书》。

但《专项审计指引》也规定，制定总体审计策略时，应当清楚地说明向具体审计领域调配的资源，包括就复杂的研究开发项目技术问题利用专家的工作。