单晶硅的制法通常是先制得多晶硅或无定形硅,然后用直拉法或悬浮区熔法从熔体中生长出棒状单晶硅。
单晶硅棒是生产单晶硅片的原材料,随着国内和国际市场对单晶硅片需求量的快速增加,单晶硅棒的市场需求也呈快速增长的趋势。
区熔法单晶主要用于高压大功率可控整流器件领域,广泛用于大功率输变电、电力机车、整流、变频、机电一体化、节能灯、电视机等系列产品。晶体直径可控制在Φ3~6英寸。外延片主要用于集成电路领域。
硅片回收,就是对硅片进行回收,以便进行硅的二次利用,从而避免其污染环境,并能够提高硅的利用率。
硅片回收及加工过程,包括了很多步骤,但总的要求是:
(1)能够修正一些物理性能,包括尺寸、形状、平整度等方面;
(2)避免出现表面损伤,消除表面的脏污或者颗粒。
目前硅片的生产已经采用多线锯切割方法,可以生产出面积较大(25cm×25 cm)而厚度又相对较薄的硅片,但是在此方法的操作过程中,金属丝要受到多种力的激励,还要受到机械结构的影响,就不可避免的在切割过程中产生变形与振动,瞬间性的冲击就会作用在切割的硅片上。