控制系统:是整个洁净实验室-生物实验室运行的神经中枢。由于洁净实验室-生物实验室的实验对象是危险性的微生物,出于严格控制污染的原则,它要求以少的维护人员,运用化的管理维护手段,来实时监控每一个实验室中设备所处的物理环境,保证实验室运行过程中始终处于相对负压环境,防止危险性微生物外泄。
高性:统一协调了各个设备供应商、工程承包商和服务提供商,把与整个洁净实验室-生物实验室建设过程相关联的多个环节、合作伙伴统一协调起来。整个洁净实验室-生物实验室建设过程都是在公司的统筹安排下进行,统一了各个方面的意见,消除了因意见不统一造成设计、施工过程中各自为证,导致建设过程出现隐患、返工等的弊病,保证了洁净实验室-生物实验室的严密性,使其能长期运行。
但在一个操作间,机器以及机器周围走动的人员,会对气流形成障碍。障碍物可以使单向流变成紊流,从而在障碍物周围形成气流团。人员的活动也可以使单向流变成紊流。在这些紊流中,由于风速较低,空气稀释程度较小,从而使得污染浓度较高。
相对湿度超过55%时,冷却水管壁上会结露,如果发生在精密装置或电路中,就会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。此外,湿度太高时将通过空气中的水分子把硅片表面粘着的灰尘化学吸附在表面难以清除。相对湿度越高,粘附的越难去掉,但当相对湿度低于30%时,又由于静电力的作用使粒子也容易吸附于表面,同时大量半导体器件容易发生击穿。对于硅片生产湿度范围为35—45%。