这三项负荷之和一般占总负荷的70%~95%。因此,净化空调系统节能措施应从减少新风量(减少排风量);控制送风量(合理确定换气次数);充分利用回风量;选择低阻力率的空调和净化设备和可变风量的风机等入手。
洁净环境是为生产工艺服务的,洁净室设计必须满足生产工艺的环境要求,这是理所当然的。因此,在洁净室设计时生产工艺对环境参数的要求应该实事求是,其面积、层高,温度、湿度,洁净度等应该该高则高,该低则低,并非越高越好。在不影响生产工艺正常运行的前提下尽可能地降低参数要求,控制净化面积,缩小高净化级别洁净区的范围,严格控制100级和更高级别单向流洁净区的面积。 [3]
洁净车间,亦称洁净室、无尘车间、无尘室或清净室。洁净室的主要功能为室内污染控制,没有洁净室,污染敏感零件不可能批量生产。在FED-STD-2里面,洁净室被定义为具备空气过滤、分配、优化、构造材料和装置的房间,其中特定的规则的操作程序以控制空气悬浮微粒浓度,从而达到适当的微粒洁净度级别。
玷污物的污染包含对产品的损害和对人的危害。
污染包含直接污染和交叉污染(医疗范畴谓之感染)。
人是污染源的发源地:静坐时,人体每分钟散发10万个粒子(粒≥0.5μm);
每天脱落6~13克表皮细胞,一年脱落人体细胞约3.5公斤。
半导体洁净室内微污染来源,经测试,作业人员占80% 。