电子行业生产工艺过程产生的有毒有害气体种类繁多,且量也大,所以需要的排风量和新风量也大。新排风的节能措施也是行业特点之一,排放前要做处理,使排风负荷环保要求。
电子行业生产工艺有抗静电、抗微振的要求,并且大宗气体和特种气体种类多,对纯度和洁净度要求高:
1.电子制造厂万级洁净室内的噪声级(空态):不应大于65dB(A)
2.电子制造厂洁净室垂直流洁净室满布比不应小于60%,水平单向流洁净室不应小于40%,否则就是局部单向流了。
3.电子制造厂洁净室与室外的静压差不应小于10Pa,不同空气洁净度的洁净区与非洁净区之间的静压差不应小于5Pa
4.电子制造行业万级洁净室内的新鲜空气量应取下列二项中的值:
5.补偿室内排风量和保持室内正压值所需的新鲜空气量之和。
6.保证供给洁净室内每人每小时的新鲜空气量不小于40m3。
空气中的微生物无处不在,并常附着在尘埃粒子上,随着尘埃、雾滴及皮屑、毛发等传播。空气中的尘埃粒子越多,附着在尘埃粒子上的机会越大,传播的机会也增加。同样,病毒也会附着在尘粒上并进行传播。因此,控制空气中尘粒的数量就可以控制附着在其上的微生物。
各种微生物的大小可如图1-1所示。大部分微生物在于0.3µm。病毒是小的微生物,大约在0.005µm以上,其次是立克次氏体。种类很多,多数 在空气中以群体形式存在。常见的大小为5.5~6.5µm,为3.1~3.9µm,采用空气过滤器(0.5µm,过滤效率≥99.9%)基本 上可将它们除去。
室内空气参数要求 :
(1)温湿度要求:温度一般为24+2℃,相对湿度为55+5%。
(2)新风量大。由于这类车间内,人员比较多,可以根据以下数值应取下列的值:非单向流洁净室总送风量的10-30%;补偿室内排风和保持室内正压值所需的新鲜空气量;保证室内每人每小时的新鲜 空气量≥40m3/h。
(3)送风量大。为了满足洁净室内的洁净度及热湿平衡,需要较大的送风量,就300平方米的车间,吊顶高度为2.5米的,如果是万级,送风量就需要300×2.5×30=22500m3/h的送风量(换气次数,是≥25次/h);如果是十万级,送风量就需要300×2.5×20=15000m3/h的送风量(换气次数,是≥15次/h)。
1.无菌室应设有无菌操作间和缓冲间,无菌操作间洁净度应达到10000级,室内温度保持在18-24℃,湿度保持在45-65%。超净台洁净度应达到100级。
2.无菌室应保持清洁,严禁堆放杂物,以防污染。
3.严防一切器材和培养基污染,已污染者应停止使用。
4.无菌室应备有工作浓度的液,如5%的甲酚溶液,75%的酒精,0.1%的新洁尔灭溶液,等等。
参照《药品卫生检验方法》 《中国药品检验标准操作规范》中 (无菌检查法)章节 中华人民共和国医药行业标准 YY/T0188.6-1995《药品检验操作规程》