净化工程是在一定空间内消除空气中的颗粒物、有害空气、等污染物,并将室内温度、洁净度、压力、风速、气流分布、噪声、振动、照明、静电等控制在一定需求范围内的工程部门。无论外部空调如何变化,净化工程专用房间均能保持原有的洁净度、温度、湿度和压力。 不同的净化项目有不同的目的和功能,所以不同的净化项目有不同的组成部分。但净化项目主要包括以下几个部分:
1. 建筑围护体系:它是简单的顶部、墙面和地面三部分,也就是说,六面立体的密闭空间。具体来说,包括门窗、装饰弧等。
2. 电气系统:照明、电源及弱电,包括净化灯、插座、电柜、线路、监控、电话等强、弱电系统;
3.风道系统:包括送风、回风、新风、排气管、末端及控制装置等;
4. 空调系统:包括冷(热)水机组(包括水泵、冷却塔等)(或气冷式管道机水平,等等),管道,结合净化空调箱(包括混流部分,主要效率部分、加热/冷却区,除湿部分,增压部分,中间部分效率,静压节等);
5. 自动控制系统:包括温度控制、温度控制、风量和压力控制、开启顺序和时间控制等;
6. 给排水系统:供水、排水管道、设施及控制装置等;
7. 空气过滤系统:初中过滤器等;
8. 地面清洁:一般采用环氧树脂进行地面清洁。
9. 其他净化设备:如臭氧、紫外线灯、风淋室(含货淋室)、转换窗、超净工作台、互联锁等净化辅助设备。
全球半导体行业稳定向好,中国市场如火如荼也带动了整个洁净室产业的发展。综合来看,三因素决定我国半导体行业的高速发展:
1)国内半导体销售占比和增速远高于全球平均水平,半导体市场消费基数维持高位。
2)我国半导体设备支出占比小增速快,设备市场增长空间大。
3)半导体贸易逆差持续维持1,600亿美元高位,“进口替代”大势所趋。
目前很多企业都在建设净化工程,但编者提醒我们,在净化工程的设计和施工中,有些细节需要慎重,不能敷衍了事。否则,很可能“千万里的堤岸就会在蚁巢中崩塌”。在项目结束时,需要投入大量的资金和精力来完成,在验收时,由于风道不当或人员移动,可能无法达到预期的净化效果。空调净化节能
空调净化是清洁化工行业的一大能源消耗。净化工程的设计和施工应注意节能措施。设计、系统和分工的区域,空气供给体积的计算,温度和相对温度的测定,测定空气清洁度水平和变化的频率,清新的空气,比空气管的绝缘,咬的影响形式生产风管漏风率,连接点的影响主要管和支管的气流阻力,法兰接头是否漏气,等等,而空调箱、风机、冷水机等设备的选择都与能耗无关,因此在净化工程中有必要考虑这些细节。
根据气候条件选择空调箱
净化工程中空调箱的选择应考虑气候环境。例如,在北方地区冬季低温和大灰尘含量,净化项目应该添加新鲜空气预热段一般空调机组,并选择水喷洒空气处理模式,所以它不仅可以洗空气灰尘,但也产生热交换达到所需的温度和湿度。我国南方地区气候湿润,空气中粉尘浓度低,冬季不需要对新鲜空气进行预热。对于空气过滤和温湿度调节,选择初级效果过滤。冰面表面的温湿度调节也可以加强降温降温的过程,然后再通过中间效应过滤和终端过滤或亚过滤。
电子光学净化工程
1、净化厂房墙材一般多采用50mm厚的夹芯彩钢板,顶板多采用50mm厚的硅岩板其特点为美观、刚性强。角与角之前的拼接选用圆弧连接宜清洁,洁净地板要求
2、地坪:可采用2mm/3mm环氧树脂或是PVC地坪,电子厂房选用防静电地坪
3、送回风管道用热渡锌板制成,贴净化保温效果好的阻燃型PF发泡塑胶板。
4、送风口用不锈钢框架,美观清洁,冲孔网板用烤漆铝板,不生锈不粘尘,宜清洁。
净化参数:换气次数:100000级≥15次;10000级≥20次;1000≥30次。
压差:主车间对相邻房间≥5Pa平均风速:10级、100级0.3-0.5m/s;
温度: 冬季>16℃;夏季湿度:45-65%;GMP粉剂车间湿度在50%左右为宜;电子车间湿度略高以免产生静电。噪声≤65dB(A);新风补充量是总送风量的10%-30%;照度300LX