湿度过高产生的问题更多。相对湿度超过55时，冷却水管壁上会结露，如果发生在装置或电路中，就会引起各种事故。相对湿度在50时易生锈。此外，湿度太高时将通过空气中的水分子把硅片表面粘着的灰尘化学吸附在表面耐难以清除。相对湿度越高,粘附的难去掉，但当相对湿度低于30时，又由于静电力的作用使粒子也容易吸附于表面，同时大量半导体器件容易发生击穿。对于硅片生产佳温度范围为35—45。

静电问题所以在洁净室中特别严重，是因为不但在洁净室中具备前述产生静电的多种工艺因素，而且因为洁净室中的许多材料如塑料地面、墙面，尼龙、的确良等工作服都有很高的电阻率，都易产生静电和集聚静电，在洁净室的静电灾害未被重视以前，这些材料料是被广泛采用的。

无尘车间风管的组对、连接长度应根据现场的施工现场的情况和吊装设备而进行确定。无尘车间风管连接采用的密封材料应满足系统功能的技术条件。

例如，防、排烟系统或输送温度高于70℃的空气或烟气的无尘车间，应采用耐热橡胶板或不燃的耐温、防火材料；输送含有腐蚀介质的气体，应采用耐酸橡胶板或软聚氯乙烯板。

无尘车间风管安装就位的程序通常为先上层后下层，先主干管后支管，先立管后水平管。就位时应注意，例如：采用吊装组对无尘车间风管时，应加强表面的保护，注意吊点受力，保证吊装稳定、和无尘车间风管不产生扭曲、弯曲变形等，必要时应采取防止变形的措施。