另一方面,空气本身并不产生污染,因为空气不含必要的水分和营养,不是适合微生物生长繁殖的天然环境,但是一般的大气环境仍含有不少的、霉菌和酵母菌。空气中的微生物来自灰尘微粒(自然因素如风,人为因素如车),来自人的皮肤与衣服,以及谈话、咳嗽、打喷嚏等造成的飞沫。因此,空气是侵袭我们产品的污染物的主要媒介。减少空气中悬浮粒子的含量和有效地去除已存在的固体微粒子,保持空气洁净,始终都是制造过程控制的主要内容。
人员发尘是无尘车间内空气污染源的主要来源,占80%~90%左右,人动作时的发尘量相当复杂,人静止(或基本静止)时的发尘量和激烈活动时的发尘量大约相差10倍。一个人在室内活动时不可能都是激烈活动,如果取这些动作的平均,可以认为一个人在室内活动时的发尘量为其静止(或基本静止)时的5倍,即为:5×105粒/(min人)。
与无尘车间周边相邻或相通的,较低洁净度的区域或非洁净区域,由于人员、材料的进出携带的污染空气,或沉降在人员、物料上的污染物被带入,是影响室内洁净度的另一个重要污染来源。合理的正压差是减少通过围护结构的缝隙和传递窗、门、传送带开口等孔洞侵入污染空气的重要措施。
设在门口的气闸室、缓冲室以及空气吹淋室也有一定作用。但完全避免周边污染区域对无尘车间环境的干扰与影响也是困难的,特别是无尘车间在外门的附近区域。因此,关键工艺区域宜远离外门。
根据不同的情况,不同级别相邻房间的正压值约为5Pa-10Pa,让不同洁净度的各级房间维持梯次的压差,目的是当房间门处于关闭情况时,通过缝隙的气流流向是由无尘车间流向低级别无尘车间、由低级别无尘车间流向走廊和服务区,再流向室外。这样就可减少由室外向服务区域,服务区域向低级别无尘车间,低级别无尘车间向无尘车间传播空气中的悬浮污染物。