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洁净厂房空调系统如何节能（1）

洁净厂房空调系统特点

洁净厂房空调系统与一般民用建筑的空调系统的不同，它首先对控制区的洁净度有很高要求。导体器件厂房内，在硅衬底上只要落有电路线宽1/10～1/3大小的尘埃，就可能导致芯片电路短路。洁净厂房空调系统除对洁净度要求较高外，还对温度、湿度、震惊、噪音等都有不同程度要求。

同时，因为半导体器件出产工艺的特点，要求洁净厂房内全天（24h)保持相应的洁净度，目此，洁净空调系统(包括排风系统)、为其配套的冷、热源及相应的输送系统需天天24h运行，这也与其他空调系统极其不同。运行时间的增长也使其空调系统的节能更具有潜力和意义。

为了减小洁净厂房空调系统的耗能，首先有必要对其耗能的特点进行分析。

1）送风量大

洁净度的进步和维持是半导体器件厂房空调系统设计和运行的重要任务，这一任务的完成要依靠很高的送风量，是以高能耗为代价的。就送风量而言，一般办公大楼换气次数为10h-1左右，而大规模半导件器件厂房内，为了知足相应的洁净度要求，需要保证很高的换气次数，致使轮回风量非常大。100级洁净室的换气次数可选到400h-1，10000级洁净室的换气次数日选到40 h-1，100000级洁净室的换气次数也要30 h-1。

2）新风负荷大

在电子厂房中，某些车间披发出有害气体，需要通过排风加以消除，这就加大了系统的新风量。洁净室的各类制冷负荷中，*重要的有新风、风机温升和设备散热3项，而尤以新风**。根占有关部分统计，新风负荷可以从20％～70％，风机温升从8％～20％多，工艺设备可以从16%～50％。洁净室内均匀所需新风量在45～60m3/（m.m2），新风冷负荷比室内显热冷负荷还要大约近1倍。