:产品描述::
北京华旭世纪HXMF02系列气体质量流量计/控制器,采用了毛细管热传感技术和热温差原理,即流动中的流体与热源之间热量交换关系,来测量和控制气体的质量流量。由于热温差只和气体的质量流量有关,因此其测量值不受气体的温度和压力变化的影响。
HXMF02系列小流量热式质量流量产品,采用了紧凑型设计,体积小巧精致,产品坚固耐用。产品使用了线性化校正电路和EMI保护,具备可靠、性能稳定、低功耗、寿命长等特点。
在数据传输上,不但具备传统的有线式,还具备局域网无线传输数据,互联网远程数据监控云平台等强大功能。可有效地满足各种客户的不同工况需求,广泛应用于诸多工业和科研领域。
::产品特色::
● 快速响应
● 超高性价比
● 测量,出色的长期稳定性
● 可测量腐蚀性气体,坚固耐用
● 精巧的外观设计,的保护电路及EMI
● 可配专用显示表,显示瞬时流量
● 诸多选项:高精度、自定义量程、流量信号无线传输
远程数据监控云平台、短信报警、邮件报警等
::典型应用::
· 光伏及晶体制备 · 真空行业及镀膜 · 泄漏检测
· 炉窑及微反应装置 · 半导体行业 · 大学/研究所
· 分析仪器 · 气体混合配比 · 计量及计价
· 燃料电池 · 燃烧测试 · 其它气体测控场合
::性能指标::
介质要求:与介质兼容的气体,支持腐蚀性气体
介质种类:客户指定,也可现场更改-需咨询我们
标定工况:0℃ @ 1 atm(氮气)
测控量程:从0~5sccm到0~30slm任选
量程比:50:1
精度:±1.5%满量程(>15L为2%) 高精选项:±1%满量程、±1%读数
重复性:±0.2%满量程
流量分辨率:0.1%满量程
响应时间:2S
阀门状态:常闭(仅控制器,流量计无阀门)
工作温度:5~45℃
工作湿度:0~RH(无冷凝)
工作压差范围:流量计 0.02MPa~3MPa
控制器 0.1~0.5MPa(>10SLM为0.1~0.3MPa)
大耐压:3MPa,可选高压选项10MPa
输入输出信号:标准为0~5V
可选4~20mA、1~5V、Modbus、RS485
输入输出电气参数:输入阻抗>100kΩ,输出电流<3mA
供电电压:+15VDC@50mA -15VDC@200mA
电气接口:DB 15pin
泄漏率:≤1×10-9次方Pa·立方米 /S(He)
接液材质:316L SS
密封材料:根据气体种类由厂家选择或客户指定,包括:PTFE、氟橡胶FKM、全氟橡胶FFKM、NBR、EPDM、CR、VMQ,等
管道接头:1/4〃VCR,1/8、1/4、3/8双卡套,3、6、8、10mm双卡套
外形尺寸:长×宽×高:127×30×100mm
产品重量:流量计0.72kg
控制器0.88kg